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經常使用的臭氧濃度單位包括重量百分比濃度wt%，和質量體積百分比濃度mg/l（g/m3）, 當臭氧濃度較低時，如空氣中的臭氧濃度，也會使用體積百萬分之一ppm v.，由于臭氧濃度單位數(shù)量較多，使用時經常會有混淆的現(xiàn)象, 下表列出了氧氣源和空氣源的臭氧濃度轉換表供參考。
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